推板爐專門設計用于雙溫區(qū)CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝，兩個溫區(qū)獨立控制，溫區(qū)可單獨使用，也可提供較大梯度差的溫場。硅鉬棒、硅碳棒，硅碳棒，電阻絲組合加熱，在同一腔體內(nèi)實現(xiàn)不同的溫度差，是CVD工藝的專用理想設備。

　　今天小編要與大家分享的是推板爐所具備的技術(shù)優(yōu)勢：

　　1、使用安全性

　　（1）超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動斷電及報警。

　　（2）漏電保護功能，當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。

　　2、操作便捷性

　　（1）氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。

　　（2）使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。

　　（3）取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

　　3、結(jié)構(gòu)實用性

　　（1）爐膛材料采用多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500度的優(yōu)質(zhì)硅碳棒及表面溫度1700度的硅鉬棒。

　　（2）密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調(diào)功能。

　　（3）兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。

　　（4）采用空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應技術(shù)，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。

　　4、控制智能化

　　（1）電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

　　（2）國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫，進口程序控溫系統(tǒng)可編程40段程序控溫。

　　（3）爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口，可實現(xiàn)與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。